http://ir-heat-sets.com/ko/tags/%EC%9E%A5%EB%B9%84/ Recent content in 장비 on Infrared Heating Lamp Sets Hugo ko Sun, 07 Jun 2026 03:38:59 +0800 http://ir-heat-sets.com/ko/posts/wafer-fabrication-line-equipment/ Sun, 07 Jun 2026 03:38:59 +0800 http://ir-heat-sets.com/ko/posts/wafer-fabrication-line-equipment/ <p><img src="http://ir-heat-sets.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="웨이퍼 제조 라인 장비"></p> <h1 id="공정-현장에서의-포토레지스트-베이킹">공정 현장에서의 포토레지스트 베이킹</h1> <p>포토레지스트 베이킹은 단순한 온도 단계가 아닙니다. 이는 허용 오차입니다. 2°C의 변동은 중요한 치수 편차를 초래할 수 있으며, 소량의 입자는 많은 우수한 다이를 손상시킬 수 있습니다. 실제 공정 파라미터처럼 동작하는 열 제어가 필요하며, 도구에 부가적으로 장착된 것이 아닙니다.</p>