http://ir-heat-sets.com/ko/tags/%EC%8A%A4%ED%8D%BC%ED%84%B0%EB%A7%81/ Recent content in 스퍼터링 on Infrared Heating Lamp Sets Hugo ko Mon, 01 Jun 2026 20:04:43 +0800 http://ir-heat-sets.com/ko/posts/semiconductor-sputtering-heater/ Mon, 01 Jun 2026 20:04:43 +0800 http://ir-heat-sets.com/ko/posts/semiconductor-sputtering-heater/ <p><img src="http://ir-heat-sets.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="반도체 스퍼터링 히터"></p> <h1 id="role">Role</h1> <p>공장 현장에서 스퍼터링 챔버 내부의 열 프로파일은 단순히 한눈에 보는 파라미터가 아니다. 이는 엄격한 한계치다. 히터가 편차를 보이면 필름 응력이 변하고, 결국 수율에 영향을 미친다. 우리는 웨이퍼를 목표 온도에 일정하게 고정시켜 증착 공정이 열 예산과 충돌하지 않도록 반도체 스퍼터링 히터를 설계했다.</p>