http://ir-heat-sets.com/ko/tags/%EA%B4%80%EC%8A%B5/ Recent content in 관습 on Infrared Heating Lamp Sets Hugo ko Thu, 04 Jun 2026 03:20:22 +0800 http://ir-heat-sets.com/ko/posts/custom-infrared-heater-for-wafer/ Thu, 04 Jun 2026 03:20:22 +0800 http://ir-heat-sets.com/ko/posts/custom-infrared-heater-for-wafer/ <p><img src="http://ir-heat-sets.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="웨이퍼용 맞춤 적외선 히터"></p> <h1 id="role">Role</h1> <p>리소그래피 플로어에서, 포토레지스트 베이크 시 0.5°C의 편차는 “작은 오차”가 아니다. 이는 폐기된 웨이퍼, 손실된 마스크 레이어, 그리고 지연된 일정으로 이어진다. 웨이퍼 단위의 열 예산은 매우 엄격하며, 재현성은 선택 사항이 아니다. 이러한 현실을 바탕으로 웨이퍼 공정용 맞춤형 적외선 히터를 개발했다—수율 보호는 측정 가능한 온도 제어에서 시작되며, 손가락을 걸고 운에 맡길 수 없기 때문이다.</p>