http://ir-heat-sets.com/ja/tags/tool/ Recent content in Tool on Infrared Heating Lamp Sets Hugo ja Fri, 03 Jul 2026 08:19:14 +0800 http://ir-heat-sets.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Fri, 03 Jul 2026 08:19:14 +0800 http://ir-heat-sets.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://ir-heat-sets.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="ウェーハ加工ツール用温度センサー"></p> <p>ファブの現場では、焼成温度がわずか0.5度変動しても、ウェーハの寸法にナノメートル単位の影響が出ます。そうなると、そのウェーハは廃棄処分されてしまいます。ウェーハ用の温度センサーは単なる付加装置ではありません。これらのセンサーは、リソグラフィーやフォトレジストのソフトベイク、ハードベイク、そしてウェーハの洗浄工程における熱管理を行います。均一性が保てないと、歩留まりが低下してしまいます。</p>