http://ir-heat-sets.com/ja/tags/dns/ Recent content in DNS on Infrared Heating Lamp Sets Hugo ja Sat, 27 Jun 2026 04:35:31 +0800 http://ir-heat-sets.com/ja/posts/dns-screen-wafer-dryer-lamp/ Sat, 27 Jun 2026 04:35:31 +0800 http://ir-heat-sets.com/ja/posts/dns-screen-wafer-dryer-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-sets.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="DNS スクリーン ウェーハ乾燥ランプ"></p> <p>ライン上では、フォトレジストはわずかなばらつきも許しません。少しでも<a href="https://henruite.com">温度制御</a>が狂うと、CDの制御が崩れてしまい、最終的にはウェーハ全体で欠陥を探すことになります。私たちは、このような熱処理のばらつきを解消するために、DNSスクリーンウェーハドライヤーランプを開発しました。</p> <p><strong>内部で重要なのは何か</strong> ウェーハ面全体で±0.1℃の温度均一性が得られるため、各露光領域で同じ熱条件が保たれます。クリーンルームとの互換性も重要です。クラス1～100のクリーンルーム内では、アセンブリ時に粒子が大量に発生することがないため、粒子数の制御が容易になります。短波長の赤外線によって基板が直接加熱されるため、温めるのが速く、無駄なエネルギーの消費も少なくなります。石英容器に収められたエミッターは、フォトレジスト処理に必要な温度プロファイルを安定して維持し、制御ループによって設定値がシフトしないようになっています。</p>