反射器 on Infrared Heating Lamp Sets

金製反射板付き赤外線ランプ

Thu, 09 Jul 2026 05:23:40 +0800

金コーティングを施した赤外線ランプ：ウェーハにすべてのエネルギーを届ける
さっそく本題に入りましょう。半導体製造では、必要な場所で、必要な時に熱を供給することが求められます。無駄があってはならず、効率的でなければなりません。まさにそのために、私たちは金コーティングを施した赤外線ランプを開発しました。これにより、電力を集中した熱放射に変換し、ウェーハに直接当てることができます。

出力、電圧、サイズ：お客様の状況に合わせて最適化
このハロゲン式赤外線ランプは、小さなサイズで大きな熱量を発生させるように設計されています。お客様のラインの電気設備や熱管理のニーズに合わせて、出力や電圧を選択できます。

ウェーハ硬化ランプ用反射板

Thu, 09 Jul 2026 05:04:57 +0800

私たちは、ウェーハの硬化処理に使用されるランプ用の反射器を開発しました。これは、製造ラインで抱えていた大きな問題を解決するものです。つまり、機械全体が炉のようになってしまわないようにしながら、ウェーハに最大限の熱エネルギーを与える方法です。基本的な考え方はシンプルです——必要な場所にだけ熱を集中させるのです。

IRランプ用アルミニウム反射板

Thu, 25 Jun 2026 04:29:37 +0800

製造現場では、許容範囲に隠れることはできません。ホットプレートの位置が半度でもずれると、ウェーハの線幅に変動が生じ、それによってウェーハがダメになってしまいます。ソフトベイクやハードベイクの時間や温度は秒単位、度単位で測定されるため、余裕はありません。IRランプは安定して再現性のある熱を供給しなければならず、そうでなければリソグラフィー工程がうまく機能しなくなります。

技術的に重要なのは以下の点です。私たちのIRランプ用アルミニウム反射器は、半導体の熱特性に基づいて設計されています。これにより、ベイク面全体でウェーハの温度が±0.1℃以内に保たれ、エネルギーの分布がプロセスで想定されている通りになります。表面は研磨され、ガス放出や粒子の発生を抑える処理が施されているため、クリーンルームのクラス1～100の基準を確実に満たすことができます。再現性は、安定した反射形状と一貫した放射率によって実現されます。つまり、設定値から設定値への変化においても、温度は所定の範囲内に収まります。