http://ir-heat-sets.com/ja/tags/%E3%82%BB%E3%83%A9%E3%83%9F%E3%83%83%E3%82%AF/ Recent content in セラミック on Infrared Heating Lamp Sets Hugo ja Sun, 21 Jun 2026 06:00:29 +0800 http://ir-heat-sets.com/ja/posts/ceramic-end-cap-for-ir-emitter/ Sun, 21 Jun 2026 06:00:29 +0800 http://ir-heat-sets.com/ja/posts/ceramic-end-cap-for-ir-emitter/ <p><img src="http://ir-heat-sets.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="IRエミッタ用のセラミックエンドキャップ"></p> <p>ウェーハの上では、わずか数度の温度変動でも、フォトレジストの焼成プロセスに悪影響を与え、線幅のコントロールや歩留まりを低下させてしまいます。したがって、熱的な不安定要素は許されません。IRエミッターアセンブリに装着されるセラミック製のエンドキャップは、このような不安定要素を排除し、必要な場所、つまりウェーハ上で熱フィールドを安定させる役割を果たします。</p>