http://ir-heat-sets.com/ja/tags/%E3%82%B9%E3%83%91%E3%83%83%E3%82%BF%E3%83%AA%E3%83%B3%E3%82%B0/ Recent content in スパッタリング on Infrared Heating Lamp Sets Hugo ja Mon, 01 Jun 2026 20:04:43 +0800 http://ir-heat-sets.com/ja/posts/semiconductor-sputtering-heater/ Mon, 01 Jun 2026 20:04:43 +0800 http://ir-heat-sets.com/ja/posts/semiconductor-sputtering-heater/ <p><img src="http://ir-heat-sets.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="半導体スパッタリングヒーター"></p> <p>製造現場では、スパッタリングチャンバー内の熱プロファイルは単なるパラメータの一つではない。これは厳格な制限値である。ヒーターがドリフトし始めると、膜応力も連動して変化し、歩留まりに影響を及ぼす。今回開発した半導体用スパッタリングヒーターは、基板を目標温度に安定的に固定し、堆積工程が熱予算と競合することを防ぐことを目的としている。</p>