http://ir-heat-sets.com/ja/tags/%E3%82%A2%E3%83%AB%E3%83%9F%E3%83%8B%E3%82%A6%E3%83%A0/ Recent content in アルミニウム on Infrared Heating Lamp Sets Hugo ja Thu, 25 Jun 2026 04:29:37 +0800 http://ir-heat-sets.com/ja/posts/aluminum-reflector-for-ir-lamp/ Thu, 25 Jun 2026 04:29:37 +0800 http://ir-heat-sets.com/ja/posts/aluminum-reflector-for-ir-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-sets.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="IRランプ用アルミニウム反射板"></p> <p>製造現場では、許容範囲に隠れることはできません。ホットプレートの位置が<a href="https://o-yate.com">半度</a>でもずれると、ウェーハの線幅に変動が生じ、それによってウェーハがダメになってしまいます。ソフトベイクやハードベイクの時間や温度は秒単位、度単位で測定されるため、余裕はありません。IRランプは安定して再現性のある熱を供給しなければならず、そうでなければリソグラフィー工程がうまく機能しなくなります。</p> <p>技術的に重要なのは以下の点です。 私たちのIRランプ用アルミニウム反射器は、半導体の熱特性に基づいて設計されています。これにより、ベイク面全体でウェーハの温度が±0.1℃以内に保たれ、エネルギーの分布がプロセスで想定されている通りになります。表面は<a href="https://henruite.com">研磨</a>され、ガス放出や粒子の発生を抑える処理が施されているため、クリーンルームのクラス1～100の基準を確実に満たすことができます。再現性は、安定した反射<a href="https://o-yate.net">形状</a>と一貫した放射率によって実現されます。つまり、設定値から設定値への変化においても、温度は<a href="https://goldisgood.com">所定</a>の範囲内に収まります。</p>