Elemento riscaldante Oxford Instruments

Sat, 06 Jun 2026 03:48:43 +0800

On line, il drift termico non appare con un’etichetta di avviso. Lo si rileva come un errore di overlay di 5 nm, una linea di residui dopo lo sviluppo o un calo di resa che si ricollega direttamente a una singola piastra di bake. Nella litografia e nel processo di fotoresist, la temperatura non è rumore di fondo—è il processo stesso.

Abbiamo progettato l’elemento riscaldante Oxford Instruments per questa realtà. Il soft bake e l’hard bake devono raggiungere rapidamente il setpoint—in pochi secondi—per poi mantenerlo costante in tutta la wafer, ora dopo ora.

Oxford on Infrared Heating Lamp Sets

Elemento riscaldante Oxford Instruments