Lampada riscaldante evaporatore Evatec

Tue, 09 Jun 2026 03:24:12 +0800

Sulla fabbrica

Su un piano di fabbrica, una deriva di 0,3°C durante la cottura del photoresist non è una “piccola deviazione”. È un colpo alla resa. Quando le temperature di soft bake e hard bake si allontanano, il controllo delle dimensioni critiche si interrompe, e la linea smette di fidarsi dei dati. Abbiamo costruito la lampada di riscaldamento dell’evaporatore Evatec per eliminare quell’incertezza.

Cosa conta, tecnicamente Si tratta di infrarossi a onda corta (SWIR) forniti attraverso quarzo—riscaldamento rapido e diretto con bassa inerzia termica. Nella zona di processo, l’uniformità a livello wafer si mantiene a ±0,1°C, e la ripetibilità rimane costante grazie a un carico di filamento stabile e a un’alimentazione controllata. È compatibile con cleanroom di Classe 1–100, progettata per generare zero particelle, e costruita per funzionare 24/7 senza inattività imprevista. Il risultato è un budget termico su cui puoi contare, lotto dopo lotto.

Evatec on Infrared Heating Lamp Sets

Lampada riscaldante evaporatore Evatec

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