सेंसर on Infrared Heating Lamp Sets

वेफरों के लिए प्रीसिजन आईआर सेंसर

Mon, 27 Jul 2026 08:19:07 +0800

हम प्रत्येक आईआर सेंसर का स्ट्रेस-टेस्ट क्यों करते हैं?

जब सिलिकॉन को प्रसंस्कृत किया जाता है, तो इसके परिणाम बहुत ही महत्वपूर्ण होते हैं। अगर थोड़ी भी विद्युत-लीक हो जाए, तो पूरा बैच बेकार हो जाता है।
इसीलिए हम “नमूना-परीक्षण” नहीं करते। हम हर दसवें सेंसर की जाँच नहीं करते, बल्कि प्रत्येक सेंसर का हाई-पोट एवं इंसुलेशन-रेजिस्टेंस टेस्ट करते हैं।

जानबूझकर खराबी पैदा करना

वास्तव में, हम जानबूझकर इंसुलेशन को उसकी सीमा तक धकेलते हैं… ताकि कमजोर जगहें पता चल सकें।
सामान्य स्थितियों की तुलना में बहुत अधिक वोल्टेज लगाकर, हम छिपी हुई खराबियों को सामने लाते हैं। हम ऐसी चीजों की तलाश करते हैं जो दिखाई नहीं देतीं… जैसे एपॉक्सी में मौजूद सूक्ष्म हवा-बुलबुले, या सिरेमिक में मौजूद छोटी-छोटी दरारें।
अगर कोई सेंसर खराब होने वाला है, तो हम चाहते हैं कि यह यहीं हो। मैं तो अपनी प्रयोगशाला में ही सेंसर को नष्ट करना पसंद करूँगा, बजाय इसके कि वह आपके वैक्यूम चैंबर में ही खराब हो जाए।

स्मार्ट सेंसर पैकेजिंग – इन्फ्रारेड

Sat, 18 Jul 2026 03:56:45 +0800

अर्धचालक प्रसंस्करण हेतु आईआर हीटिंग क्यों बेहतरीन विकल्प है?

यदि आपने कभी सेंसरों को पैक करने संबंधी प्रक्रियाओं में काम किया है, तो आपको पता होगा कि इस प्रक्रिया में चिपकने वाले पदार्थों को सूखाने या घटकों को स्थिर रखने हेतु पुराने तरह के हीटिंग उपकरणों का उपयोग करना पड़ता है।
समस्या यह है कि ऐसे उपकरणों में हवा को गर्म करने में समय लगता है, और फिर वह गर्म हवा ही घटकों को गर्म करती है। यह तो एक अनावश्यक मध्यवर्ती चरण है, जिससे प्रक्रिया में देरी होती है।
मध्यवर्ती चरण को हटाना
इन्फ्रारेड हीटिंग में ऐसी कोई आवश्यकता ही नहीं है – ऊर्जा सीधे ही सेंसरों तक पहुँच जाती है। यह तो ठीक वैसा ही है, जैसे ठंडे दिनों में सूरज की किरणें हमारी त्वचा को गर्म करती हैं।
चूँकि ऊर्जा सीधे ही सामग्री में पहुँच जाती है, इसलिए लक्षित तापमान तक पहुँचने में केवल कुछ सेकंड ही लगते हैं… मिनट नहीं।
जो लोग गहन प्रसंस्करण प्रक्रियाएँ करते हैं, उनके लिए यह तो वाकई एक शानदार विकल्प है। यदि आपके वर्तमान हीटिंग उपकरणों में किसी बैच को लक्षित तापमान तक पहुँचने में 20 मिनट लगते हैं, तो इन्फ्रारेड हीटिंग से यह समय काफी कम हो जाता है। इससे आप प्रति घंटे अधिक वेफरों को प्रसंस्कृत कर सकते हैं, और आपकी प्रक्रिया भी आसान हो जाती है।
जगह बचाना
इसके अलावा, आप अपनी जगह भी बचा सकते हैं। इन्फ्रारेड हीटिंग के उपयोग से आपको वे बड़े ब्लोअर फैन एवं इन्सुलेटेड बॉक्सों की आवश्यकता ही नहीं रह जाती। आप बस लैंपों को कन्वेयर बेल्ट के ठीक ऊपर रख देते हैं… बहुत ही सरल।
अब, आपको उचित प्रकार के इन्फ्रारेड लैंप चुनने होंगे। शॉर्ट-वेव लैंप तेजी से ऊर्जा देते हैं, जबकि मीडियम-वेव लैंप सामग्री के अंदर तक ऊर्जा पहुँचाते हैं। आपको बस अपने एपॉक्सी/पॉलिमर की विशेषताओं के आधार पर ही उचित तरंगदैर्घ्य चुनना होगा।
वास्तविकता
मैं यह नहीं कह रहा हूँ कि इन्फ्रारेड हीटिंग हर स्थिति में ही उपयुक्त है। यह तो “लाइन-ऑफ-साइट” तकनीक है… अर्थात्, यदि सेंसर का आकार अजीब है, या कोई चीज़ प्रकाश को रोक रही है, तो वह स्थान ठंडा ही रहेगा।
इस समस्या को दूर करने हेतु, आपको केवल एक ही लैंप का उपयोग नहीं करना चाहिए… आपको लैंपों का एक समूह या परावर्तकों का उपयोग करना होगा, ताकि ऊर्जा सेंसर के चारों ओर फैल सके।
एक बात ध्यान में रखें: उच्च-तीव्रता वाले इन्फ्रारेड लैंप खतरनाक हो सकते हैं… यदि आप सावधान न रहें, तो आपके घटक नष्ट हो सकते हैं। इसलिए आपको लैंपों के साथ तेज़-प्रतिक्रिया वाले पाइरोमीटर एवं क्लोज्ड-लूप PID कंट्रोलर का उपयोग करना होगा… ऐसा करने से आप वांछित परिणाम प्राप्त कर सकते हैं, बिना किसी नुकसान के।

वेफर टूल के लिए तापमान सेंसर

Fri, 03 Jul 2026 08:19:14 +0800

फैब फ्लोर पर, आपको पता ही है कि क्या होता है… बेकिंग तापमान में आधे डिग्री का भी अंतर, क्रिटिकल डाइमेंशनों पर नैनोमीटर स्तर पर प्रभाव डाल सकता है… और इसके कारण उत्पाद बर्बाद हो जाते हैं। वेफर टूलों में लगे तापमान सेंसर, कोई अतिरिक्त उपकरण नहीं हैं… बल्कि ये ही लिथोग्राफी, फोटोरेसिस्ट की प्रक्रियाओं, वेफर की सफाई आदि हेतु आवश्यक तापमान-नियंत्रण प्रदान करते हैं। जब तापमान में असमानता होती है, तो उत्पादन प्रक्रिया प्रभावित हो जाती है।
हमने ऐसे सेंसर बनाए हैं, जो वेफर स्तर पर तापमान-समानता को ±0.1°C के भीतर बनाए रखते हैं… एवं त्वरित एवं विश्वसनीय प्रतिक्रिया प्रदान करते हैं। ये सेंसर, क्लास 1–100 के मानकों के अनुरूप, क्लीनरूम में ही इस्तेमाल किए जा सकते हैं… इनमें ऐसी सामग्रियाँ इस्तेमाल की गई हैं, जिससे गैसों का उत्सर्जन न हो, एवं कणों का उत्पादन भी न हो। इन सेंसरों का आउटपुट 24/7 स्थिर रहता है… ताकि कोई अप्रत्याशित रुकावट न हो… एवं हजारों चक्रों में भी इनका कैलिब्रेशन बना रहे।
फोटोरेसिस्ट प्रक्रिया में, “सॉफ्ट बेक” प्रक्रिया से घोल का प्रोफाइल तय होता है… जबकि “हार्ड बेक” प्रक्रिया से छवि को स्थिर रखा जाता है। कड़ा तापमान-नियंत्रण, बेकिंग प्रक्रिया को बेहतर बनाता है… रीवर्क की आवश्यकता कम हो जाती है… एवं लाइन-विड्थ में भी समानता बनी रहती है। इससे विभिन्न उपकरणों एवं शिफ्टों में भी समान परिणाम प्राप्त होते हैं… कणों का उत्पादन कम हो जाता है… एवं ऊर्जा-खपत भी कम हो जाती है… क्योंकि नियंत्रण-चक्र अनियंत्रित उतार-चढ़ावों को रोक देता है। वेफर की सफाई एवं सुखाने की प्रक्रिया में भी, यही सटीकता सतह-ऊर्जा को स्थिर रखती है… जिससे सुखाने की प्रक्रिया बेहतर हो जाती है… एवं दोष भी कम हो जाते हैं।
स्थापना हेतु आवश्यक सटीकता बहुत ही अधिक है… सेंसर को गर्म क्षेत्र के तापीय केंद्र में ही रखना होता है… एवं इसका कनेक्टर भी उपकरण के कनेक्टर से मेल खाना होता है। PID सेटिंगों को समायोजित करने हेतु थोड़ा समय आवश्यक है… एवं वेफर पर तापमान-समानता की जाँच भी आवश्यक है। उच्च आर्द्रता वाले वातावरण में, कनेक्टर की सीलिंग की जाँच आवश्यक है… एवं नियमित रूप से कैलिब्रेशन भी आवश्यक है… ताकि ±0.1°C का मान बना रहे।