वैक्यूम सुसंगत इन्फ्रारेड हीटर

Sat, 25 Jul 2026 04:28:06 +0800

अपने वेफरों में अधिक ऊष्मा पहुँचाना (और दीवारों में कम ऊष्मा पहुँचाना)
जब आप वैक्यूम में वेफरों को गर्म करते हैं, तो आप भौतिकी के नियमों के खिलाफ ही काम कर रहे होते हैं। चूँकि वहाँ कोई हवा नहीं होती, इसलिए आप संवहन के माध्यम से ऊष्मा पहुँचाने की उम्मीद नहीं कर सकते। ऐसी स्थिति में आपको विकिरण का ही उपयोग करना पड़ता है।
समस्या यह है कि वेफर तक न पहुँचने वाली हर ऊर्जा व्यर्थ ही जाती है। यह ऊर्जा चेम्बर की दीवारों को गर्म कर देती है, जिससे शीतलन प्रणाली पर अतिरिक्त दबाव पड़ता है। यह ऊर्जा का अपव्यय है, और यह हार्डवेयर के लिए भी समस्या है।

वैक्यूम चेम्बर इन्फ्रारेड हीटर

Sun, 28 Jun 2026 05:20:01 +0800

फैब फ्लोर पर, बेकिंग की प्रक्रिया ही उत्पादन की गुणवत्ता का निर्धारण करती है। चाहे यह “सॉफ्ट बेक” हो या “हार्ड बेक”, 5°C का अंतर भी महत्वपूर्ण मापदंडों को प्रभावित कर सकता है। यदि हीटरों से कण निकलते हैं, तो इससे उत्पादन प्रक्रिया प्रभावित हो जाती है। वैक्यूम चैंबर में उपयोग होने वाले इन्फ्रारेड हीटर, साफ ऊष्मा ऊर्जा प्रदान करके ऐसे जोखिमों को कम करते हैं।

क्या महत्वपूर्ण है?
हम क्वार्ट्ज आवरणों में शॉर्ट-वेव NIR स्रोतों का उपयोग करते हैं; इससे ऊर्जा सीधे लक्षित स्थान तक पहुँच जाती है। इससे थर्मल इनर्शिया कम रहती है। प्रक्रिया के दौरान, वेफरों का तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है, एवं चैंबर के लोड में परिवर्तन होने पर भी तापमान स्थिर रहता है। यह सिस्टम क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में उपयोग हेतु डिज़ाइन किया गया है; इससे कोई कण नहीं उत्पन्न होता। यह सिस्टम 24/7 काम कर सकता है, बिना किसी रुकावट के। थर्मल बजट को स्थिर एवं दोहराव योग्य आउटपुट के माध्यम से नियंत्रित किया जाता है; इससे प्रत्येक बार फोटोरेसिस्ट की गुणवत्ता स्थिर रहती है।

वैक्यूम on Infrared Heating Lamp Sets

वैक्यूम सुसंगत इन्फ्रारेड हीटर

वैक्यूम चेम्बर इन्फ्रारेड हीटर