http://ir-heat-sets.com/he/tags/dns/ Recent content in DNS on Infrared Heating Lamp Sets Hugo he Sat, 27 Jun 2026 04:35:31 +0800 http://ir-heat-sets.com/he/posts/dns-screen-wafer-dryer-lamp/ Sat, 27 Jun 2026 04:35:31 +0800 http://ir-heat-sets.com/he/posts/dns-screen-wafer-dryer-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-sets.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="מנורת ייבוש שבבי DNS (Screen)"></p> <p>בתהליך הליתוגרפיה, הפוטורזיסט אינו סובל שום סטיות. חימום לא אחיד, אפילו במידה קטנה, עלול לגרום לשיבוש בשליטה על תהליך העיבוד, ותוצאה מכך יהיה צורך לחפש פגמים בכל שטח הוואפר. לכן פיתחנו את מנורת הייבוש של DNS, שנועדה להפחית את השונות בטמפרטורה במהלך תהליך החימום.</p> <p><strong>מה חשוב באמת?</strong> יש התאמה של טמפרטורה של ±0.1°C בכל שטח הוואפר, כך שכל אזור בוואפר נמצא באותו רמת חום. התאמה לסביבות נקיות אינה רק עיקרון – בחדרים מסוג Class 1–100, רמת החלקיקים נשמרת ברמה נמוכה, מכיוון שהמכשיר אינו יוצר פליטה של חלקיקים במהלך תהליך החימום. החימום באמצעות קרינה אינפרא-אדומה מאפשר חימום מהיר של הוואפר, וכך יורדת צריכת האנרגיה בזמן החימום. הגוף הפולט את החום, שמוגן על ידי קוורץ, שומר על רמת חום יציבה, ומעגל השליטה מבטיח שהטמפרטורה תישמר באופן אחיד מסיבה לסיבה.</p>