http://ir-heat-sets.com/he/tags/%D7%A4%D7%A8%D7%95%D7%A1%D7%AA-%D7%A9%D7%91%D7%91/ Recent content in פרוסת שבב on Infrared Heating Lamp Sets Hugo he Thu, 04 Jun 2026 03:20:22 +0800 http://ir-heat-sets.com/he/posts/custom-infrared-heater-for-wafer/ Thu, 04 Jun 2026 03:20:22 +0800 http://ir-heat-sets.com/he/posts/custom-infrared-heater-for-wafer/ <p><img src="http://ir-heat-sets.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="מחמם אינפרא אדום מותאם אישית לוופרים"></p> <p>בחדר הליתוגרפיה, סטייה של 0.5°C בתהליך האפייה של הפוטורזיסט אינה &ldquo;שגיאה קטנה&rdquo;. זהו צלחת שהושלכה, שכבת מסכה שהלכה לאיבוד, ולוח זמנים שמאחר. תקציבי החום ברמת הצלחת מדויקים, וחזרתיות איננה אפשרית. זו הסיבה שבנינו מחמם אינפרא אדום מותאם אישית לעיבוד צלחות סביב המציאות הזו—כי הגנה על התשואה מתחילה בשליטה על הטמפרטורה שניתן למדוד, ולא על מה שצריך לקוות.</p> <p><strong>מה שחשוב מתחת למכסה</strong> היחידה שומרת על אחידות במצב יציב של ±0.1°C ברחבי הצלחת, באמצעות פולט אינפרא אדום קצר טווח שמתאים לפרופיל הספיגה של הפוטורזיסט והמצע. המחמם בנוי עבור חדר נקי בדרגת Class 1–100: רכיבי קוורץ ומס <a href="https://o-yate.net">assembly</a> מבוקר חלקיקים. צפו לאפס ייצור חלקיקים במהלך מחזורי האפייה, מאומת באמצעות ניטור חלקיקים in-situ. לולאת הבקרה מתאוששת במהירות—בתוך שניות לאחר אירועי פתיחת הדלת—ואחידות הטמפרטורה נשמרת בין קבוצות, משמרים וציוד.</p>