http://ir-heat-sets.com/he/tags/%D7%98%D7%9E%D7%A4%D7%A8%D7%98%D7%95%D7%A8%D7%94/ Recent content in טמפרטורה on Infrared Heating Lamp Sets Hugo he Fri, 03 Jul 2026 08:19:15 +0800 http://ir-heat-sets.com/he/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Fri, 03 Jul 2026 08:19:15 +0800 http://ir-heat-sets.com/he/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://ir-heat-sets.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="חיישן טמפרטורה לכלי עבודה עם שבבים"></p> <p>בחדרי הייצור, כמו שאתם יודעים, שינוי של חצי מעלה בטמפרטורת האפייה יכול לגרום לשינויים של ננומטרים בממדים החשובים של הוואפר – וזה אומר שהוואפר לא יהיה תקין לשימוש. חיישני הטמפרטורה של הכלים המשמשים לעיבוד הוואפר אינם רק אביזרים נוספים; הם קובעים את התנאים התרמיים הנדרשים לתהליכי הליתוגרפיה, עיבוד הפוטורזיסט, וניקוי הוואפר. כאשר האחידות בטמפרטורה אינה מספקת, התפוקה יורדת.</p> <p>פיתחנו חיישנים אלו כדי לשמור על אחידות תרמית של הוואפר בטווח של ±0.1°C, עם תגובה מהירה ואמינה. רכיב החיישן נמצא במעטפת שמתאימה לחדרים נקיים, ועומדת בתקנים של רמות 1–100. החומרים מונהגים בקפידה כדי למנוע פליטת גזים ולמנוע ייצור של חלקיקים. הפלט של החיישן נשאר יציב 24/7, מה שמונע זמני עצירה בלתי צפויים, ומאפשר כיול תקין במהלך אלפי מחזורים.</p>