http://ir-heat-sets.com/fa/tags/tool/ Recent content in Tool on Infrared Heating Lamp Sets Hugo fa Fri, 03 Jul 2026 08:19:14 +0800 http://ir-heat-sets.com/fa/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Fri, 03 Jul 2026 08:19:14 +0800 http://ir-heat-sets.com/fa/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://ir-heat-sets.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="سنسور دما برای ابزار ویفر"></p> <p>در فرآیندهای تولید، می‌دانید که چه اتفاقاتی می‌افتد. حتی تغییر نیم درجه‌ای در دمای پخت، می‌تواند باعث تغییرات نانومتری در ابعاد محصول شود؛ و این امر منجر به از بین رفتن محصول می‌شود. سنسورهای دمایی مورد استفاده برای کنترل دما، جزئیات اضافی نیستند؛ بلکه آن‌ها بودجه حرارتی لازم برای فرآیندهای لیتوگرافی، پخت نرم و سخت رزست، و شستشوی ویفر را تعیین می‌کنند. وقتی که یکنواختی دما کاهش یابد، کیفیت محصول نیز کاهش می‌یابد.</p> <p>ما این سنسورها را طوری طراحی کرده‌ایم که یکنواختی حرارتی در سطح ویفر را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد حفظ کنند؛ همچنین، این سنسورها دارای پاسخ‌دهی سریع و قابل تکرار هستند. عنصر حسگر در یک محفظه مناسب برای استفاده در اتاق‌های پاک قرار دارد؛ این محفظه نیز مطابق با استانداردهای کلاس ۱ تا ۱۰۰ طراحی شده است. مواد مورد استفاده نیز به گونه‌ای انتخاب شده‌اند که از خروج گازها و تولید ذرات جلوگیری شود. خروجی سنسور نیز ۲۴/۷ پایدار باقی می‌ماند؛ همچنین، این سنسورها امکان شناسایی تغییرات دما در زمان واقعی را فراهم می‌کنند و کالیبراسیون آن‌ها نیز در هزاران چرخه حفظ می‌شود.</p>