Lámpara infrarroja para secado de obleas de silicio

Wed, 03 Jun 2026 12:12:13 +0800

Observe cómo una oblea sale del enjuague final. Si el paso de secado no se realiza correctamente, aparecen marcas de agua, las capas base de fotoresistencia comienzan a desprenderse y el rendimiento se ve afectado. Construimos nuestra lámpara de secado por infrarrojos para obleas de silicio con el fin de eliminar esa variable.

Lo que importa en el interior
Utiliza infrarrojo de onda corta para transferir energía directamente a la película y al sustrato. A lo largo de la zona de horneado, la uniformidad a nivel de oblea se mantiene dentro de ±0.1°C, por lo que las temperaturas críticas—soft bake, hard bake y post-bake—se mantienen constantes, corrida tras corrida.
Es compatible con salas limpias desde Clase 1 hasta Clase 100. El envoltorio de cuarzo y los accesorios de baja emisión de gases evitan el aumento en el recuento de partículas. La salida se mantiene estable por más de 5,000 horas, con una deriva de intensidad inferior al 5%, lo que permite operación continua 24/7.

Silicio on Infrared Heating Lamp Sets

Lámpara infrarroja para secado de obleas de silicio