Steuergerät für digitale Infrarot Trockner

Thu, 09 Jul 2026 05:18:06 +0800

Digitaler Infrarot-Trocknersteuerer: Die Wärme genau dorthin leiten – sicher und effektiv
Seien wir ehrlich: In der Halbleiterherstellung ist störende Wärme kein bloßes Ärgernis – es handelt sich dabei um ein ernsthaftes Problem. Sie kann eine Gefahr für die Sicherheit darstellen und zu teuren Stillständen führen.

Wir haben diesen digitalen Infrarot-Trocknersteuerer entwickelt, um dieses Problem zu lösen. Es geht darum, die Wärme mit höchster Präzision an den gewünschten Ort zu leiten – damit nur die zu behandelnde Stelle erwärmt wird, während die umliegenden Geräte nicht beschädigt werden.

DNS (Screen) Wafer Trocknungslampe

Sat, 27 Jun 2026 04:35:31 +0800

Bei der Fotolackverarbeitung lässt der Fotolack keine Abweichungen zu. Selbst eine leichte Ungenauigkeit bei der Erhitzung führt dazu, dass die Kontrolle über die CD-Qualität beeinträchtigt wird – man muss dann nach Fehlern im gesamten Produktionsprozess suchen. Wir haben daher eine spezielle Lampe entwickelt, die diese Unregelmäßigkeiten ausgleicht.

Was wirklich wichtig ist:
Es wird eine Temperaturhomogenität von ±0,1 °C auf der gesamten Fläche des Wafers erreicht – somit erhält jedes Bearbeitungsfeld denselben thermischen Zustand. Die Kompatibilität mit Reinräumen ist selbstverständlich – Räume der Klasse 1–100 bleiben frei von Partikeln, da die Anlage während des Aufheizvorgangs keine Partikel freisetzt. Das Kurzwellinfrarotlicht heizt das Substrat direkt, wodurch eine schnelle Aufwärmzeit entsteht und der Energieverbrauch sinkt. Der in Quarz eingeschlossene Strahler hält die gewünschten Temperaturen konstant, und der Regelkreis sorgt dafür, dass die Einstellungen von Schicht zu Schicht konstant bleiben.

Trockner on Infrared Heating Lamp Sets

Steuergerät für digitale Infrarot Trockner

DNS (Screen) Wafer Trocknungslampe