На виробничій лінії все йде так, як і має бути. Навіть незначна зміна температури під час процесу випалювання може призвести до зміни критичних параметрів на рівні нанометрів – а це означає втрату продукту. Датчики температури для пластин не є додатковим обладнанням; вони визначають параметри теплового режиму під час процесів літографії, випалювання фоторезисту та очищення пластин. Якщо єдність температури порушується, то якість продукції погіршується.
Ми створили ці датчики для забезпечення єдності температури на рівні пластини в межах ±0,1°C, з швидкою реакцією та можливістю повторного використання. Елемент датчика розташований у корпусі, придатному для використання в чистих приміщеннях, який відповідає стандартам класу 1–100. Матеріали, з яких виготовлений датчик, дозволяють уникнути випаровування газів та утворення частинок. Вихідні дані залишаються стабільними протягом 24/7, що допомагає уникнути непланових перерв у роботі та забезпечує точність калібрування протягом тисяч циклів.
Під час обробки фоторезисту процес м’якого випалювання визначає склад розчинника, а процес жорсткого випалювання фіксує форму зображення. Точний контроль температури дозволяє звузити діапазон температур, зменшити кількість необхідних корекцій та покращити однорідність ліній. Це також сприяє зменшенню використання енергії, оскільки система керування не потребує постійних корекцій через значні коливання температури. Під час очищення та сушіння пластин така ж точність допомагає забезпечити стабільність поверхневої енергії, покращує якість сушіння та допомагає усунути дефекти.
Толеранції під час встановлення датчика є дуже строгими. Датчик мусить розташовуватися в центрі теплової зони та відповідати стандартам з’єднувачів та інтерфейсів обладнання. Потрібен короткий період на налаштування параметрів PID та перевірку єдності температури на всій площині пластини. У приміщеннях із високою вологістю необхідно періодично перевіряти герметичність з’єднань та проводити калібрування для збереження точності ±0,1°C.