На виробничій лінії все просто: навіть незначна зміна температури у півградуса може призвести до зміни критичних розмірів деталей. Висока температура не лише споживає енергію, але також пошкоджує фотополімер. Необхідна температура має бути стабільною – щоб вона залишалась на одному рівні під час кожної процедури обробки.
Ми створили модулі нагріву на основі короткохвильового інфрачервоного випромінювання. Це забезпечує швидку реакцію та точний контроль температури. Це дозволяє досягти однорідності температури на поверхні пластини в межах ±0,1°C, тож кожна процедура обробки відбувається в межах допустимих значень.
Ця платформа підходить для чистих кімнат класу 1–100 та розроблена так, щоб не створювати жодних частинок. Вона працює цілодобово без перерв. Енергоспоживання зменшується завдяки тому, що тепло подається на захід лише тоді, коли це необхідно, без зайвих втрат та часу на розігрів.
У процесі літографії стабільна температура під час процедури обробки дозволяє зберігати стабільну товщину фотополімеру та уникати появи дефектів на краях деталей. Постійна температура під час процедури „жорсткого“ нагрівання дозволяє зберігати параметри в межах допустимих значень, що зменшує кількість бракованих продуктів та необхідності повторної обробки.
Ця сама платформа може використовуватися для очищення та сушіння пластин без створення забруднень, що дозволяє контролювати кількість частинок. Це призводить до скорочення часу обробки, підвищення якості продукції та зниження витрат енергії на одну оброблену пластину – без жертвування точністю температури заради швидкості обробки.
Ось основні технічні деталі: для встановлення необхідно підібрати правильну напругу та тип роз’єму для з’єднання з пристроєм, а також перевірити ефективність теплового з’єднання під час калібрування. Модуль є компактним, але необхідно передбачити простір для проходження повітря та доступу для технічного обслуговування.
Очікуйте короткий час налаштувань для адаптації процедур до вашого виду фотополімеру. Після налаштувань процес буде працювати стабільно, незалежно від кількості серій обробки.