Üretim alanında bilindiği gibi, yarım derece kadar bile olan sıcaklık değişiklikleri kritik boyutları etkileyebilir. Aşırı yüksek sıcaklıklar ise sadece enerji tüketimini artırmakla kalmaz, aynı zamanda fotoresisti de bozar. İhtiyacınız olan şey, vardiya vardiya, aletten alete, parti parti sabit kalabilen bir ısıdır.
Isıtma modüllerimizi kısa dalga infrakızıl ışınlar üzerine kurduk. Hızlı tepki süresi ve hassas kontrol özellikleri sayesinde, ısıtma yüzeyinde ±0,1°C civarında bir eşitlik sağlanır. Böylece her türlü ısıl işlem, belirlenen sınırlar içinde gerçekleşir.
Bu platform, Class 1–100 temiz odalarına uygun olup, hiçbir parçacık üretmeyecek şekilde tasarlanmıştır. 7/24 çalışır ve plansız arızalar yaşanmaz. Enerji tüketimi azalır; çünkü ısı talep edildiğinde üretilir, beklerken enerji kaybı olmaz ve ısınma süresi gerekmez.
Litografide, tutarlı bir ısıl işlem fotoresistin kalınlığını stabil tutar ve kenar problemlerini ortadan kaldırır. Aşırı yüksek sıcaklıklarda da tekrarlanabilir sıcaklıklar sayesinde ürünler standartlara uygun kalır; bu da daha az atık ve yeniden işleme gerektirir.
Aynı platform, parçacık miktarını kontrol altında tutarak waferlerin temizlenmesi ve kurutulması işlemlerini de gerçekleştirir. Daha hızlı işlem süreleri, daha yüksek verimlilik ve işlenen her wafer başına düşen enerji miktarının azalması sağlanır; buna karşılık termal hassasiyetden ödün verilmez.
İşte pratik detaylar: Kurulum sırasında cihazın voltajı ve bağlantı arayüzü uyumlu hale getirilmeli, ardından kalifikasyon sırasında cihazın ısı iletimi kontrol edilmelidir. Modül kompakttır, ancak hava akışı ve bakım için gerekli alanlar göz önünde bulundurulmalıdır.
Fotoresist tipinize göre ayarlamalar yapabilmek için kısa bir test süreci gerekecektir. Ayarlar bir kez yapıldıktan sonra, süreç vardiya vardiya aynı şekilde devam eder.