На производственном полу все происходит по установленным правилам. Даже небольшое изменение температуры в половину градуса может привести к изменению критических размеров изделия. Высокая температура не только тратит энергию, но также разрушает фоторезист. Необходима стабильная температура, которая будет сохраняться при каждой процедуре обработки, с использованием любого оборудования и для любых партий продукции.
Мы создали модули подогрева на основе коротковолнового инфракрасного излучения. Это обеспечивает быстрый отклик и точный контроль за температурой. Благодаря этому достигается однородность температуры на всей поверхности пластины в пределах ±0,1°C. Таким образом, все процедуры обработки происходят в заданных температурных рамках без отклонений.
Эта платформа подходит для использования в чистых помещениях класса 1–100. Она спроектирована таким образом, чтобы не создавать никаких частиц. Она работает круглосуточно без перерывов. Потребление энергии снижается благодаря тому, что тепло выделяется по мере необходимости, без лишних потерь и времени на прогрев.
В процессе литографии стабильная температура способствует поддержанию постоянной толщины фоторезиста и уменьшает образование избыточных слоев. Постоянная температура во время процедур жесткой обработки позволяет сохранять параметры изделия в заданных пределах, что снижает количество бракованных изделий и необходимость их доработки.
Эта же платформа может использоваться для очистки и сушки пластин без риска загрязнения. Это позволяет контролировать количество частиц. В результате сокращается время обработки, повышается объем производства, а также снижается расход энергии на обработку одной пластины – при этом не теряется точность температурного контроля.
Вот основные технические детали. Для установки необходимо соответствие напряжения и интерфейса подключения оборудования. Также необходимо проверить эффективность теплового соединения с приспособлением для фиксации пластины во время тестирования. Модуль компактный, но необходимо учитывать требования к проходу воздуха и доступу для технического обслуживания.
Ожидается короткий период на настройку параметров обработки в зависимости от типа фоторезиста. После настройки процесс будет работать стабильно, без каких-либо отклонений, при каждой процедуре обработки.