Почему использование инфракрасного обогрева – единственно разумный вариант для сушки без использования свинца
При производстве полупроводников качество чистоты имеет решающее значение. Нельзя допустить наличия даже малейшего количества пыли или других примесей, которые могут повредить пластины.
Долгое время для сушки использовались конвекционные печи. Но, честно говоря, они не очень эффективны. Они создают потоки воздуха, что фактически лишь способствует распространению примесей по всей чистой комнате. К тому же нагрев огромной камеры с воздухом представляет собой огромную трату энергии.
Поэтому мы используем инфракрасные нагреватели. Энергия передается через электромагнитное излучение, прямо в сам материал. Никаких посредников не нужно.
Все дело в эффективности.
Поскольку инфракрасное излучение не тратит время на нагрев всей комнаты, оно достигает смол или фоторезистов на пластине именно там, где это необходимо. Это позволяет сократить время сушки с часов до секунд. Это очень быстро.
Кроме того, поскольку нет необходимости использовать процессы горения или циркуляции воздуха, не нужно беспокоиться о проникновении примесей на рабочее место. Если вы стремитесь к сертификации «нулевых выбросов» или «без свинца», это, пожалуй, единственный возможный вариант.
Реальные недостатки
Эти нагреватели должны быть выполнены с высокой степенью чистоты. Мы используем кварц высокой чистоты и специальные нитьми, чтобы избежать появления металлических частиц на производственной линии.
Но необходимо также учитывать тепловые градиенты. Инфракрасное излучение очень мощно. Если пластина движется не с правильной скоростью, могут возникнуть места с повышенной температурой. Необходимо точно настроить скорость движения пластины, иначе возникает риск деформации материала. А если мощность нагревателя слишком велика, а система охлаждения слабая, то на краях пластины могут возникнуть тепловые напряжения. Нужно проявить осторожность.
Экономия пространства
Самое прекрасное заключается в том, что можно заменить огромные печи на модульные нагревательные устройства. Не нужны сложные каналы вентиляции или провода. Достаточно лишь настроить длину волны и плотность энергии, чтобы получить желаемый результат сушки.
Это более эффективный и тихий способ сушки, без всех недостатков старых систем.