Na linha de produção, você sabe como é: uma variação de meio grau na temperatura de secagem pode fazer com que as dimensões críticas da placa sejam alteradas em nanômetros – e isso significa quebra de peças. Os sensores de temperatura para as ferramentas utilizadas na litografia não são acessórios; eles determinam o “orçamento térmico” necessário para processos como secagem suave e dura do fotoresista, além da limpeza das placas. Quando a uniformidade térmica não é mantida, a produtividade cai drasticamente.
Criamos esses sensores para manter a uniformidade térmica nas placas dentro de um intervalo de ±0,1°C, com resposta rápida e repetível. O elemento Sensor está localizado em um invólucro compatível com ambientes de classe 1–100. Os materiais utilizados visam reduzir a emissão de gás e evitar a formação de partículas. A saída do sensor permanece estável 24/7, evitando paradas não planejadas, além de permitir calibrações precisas ao longo de milhares de ciclos.
No processo de tratamento do fotoresista, a secagem suave define o perfil do solvente, enquanto a secagem dura fixa a imagem. Um controle preciso da temperatura permite diminuir o tempo de secagem, reduzir retrabalhos e melhorar a distribuição da espessura das linhas. Isso resulta em maior reprodutibilidade entre diferentes ferramentas e turnos de produção, menor número de problemas relacionados a partículas e menor consumo de energia, já que o circuito de controle evita flutuações excessivas. Na limpeza e secagem das placas, essa mesma precisão ajuda a estabilizar a energia da superfície, melhorando a consistência no processo de secagem e reduzindo defeitos.
A tolerância de instalação é muito baixa. O sensor precisa estar exatamente no centro térmico da área de aquecimento, e seu conector e interface de montagem devem ser compatíveis com os da ferramenta. Espera-se um período curto de ajustes para definir os parâmetros PID e verificar a uniformidade térmica em toda a área da placa. Em ambientes com alta umidade, verifique o selo do conector e planeje recalibrations periódicas para manter a especificação de ±0,1°C.