Na linii produkcyjnej znamy już wszystkie zasady. Delikatne podgrzewanie, nawet o pół stopnia, może wpłynąć na krytyczne wymiary elementów. Natomiast intensywne podgrzewanie nie tylko marnuje energię, ale także niszczy fotorezyst. Potrzebujemy więc takiego źródła ciepła, na którym można polegać, zarówno w jednej sesji produkcyjnej, jak i w kolejnych, przy różnych narzędziach i partiach produktów.
Stworzyliśmy moduły grzewcze oparte na krótkofalowych promieniach podczerwonych. Dzięki temu uzyskujemy szybką reakcję i precyzyjną kontrolę nad temperaturą. To zapewnia jednolitość na całej powierzchni płytki elektronicznej w zakresie ±0,1°C, dzięki czemu każde procesy podgrzewania zachodzą w granicach dopuszczalnych wartości.
Platforma ta nadaje się do stosowania w salach czystości klasy 1–100. Jest zaprojektowana tak, aby nie wytwarzać żadnych cząstek. Działa 24/7 bez przerw. Zużycie energii jest mniejsze, ponieważ ciepło jest dostarczane na żądanie, bez strat energii spowodowanych stanem czuwania czy czasem rozgrzewania.
W procesie litografii regularne delikatne podgrzewanie utrzymuje stałą grubość fotorezystu, co zmniejsza ryzyko powstawania błędów. Precyzyjna temperatura podczas intensywnego podgrzewania sprawia, że parametry pozostają w normie, co oznacza mniej odpadów i konieczności ponownej obróbki.
Ta sama platforma umożliwia również czyszczenie i suszenie płytek elektronicznych, bez ryzyka zanieczyszczenia. Dzięki temu liczba cząstek pozostaje pod kontrolą. Otrzymujemy szybsze cykle produkcji, wyższą jakość produktów oraz niższe koszty energii na jedną przetworzoną płytkę – bez rezygnacji z precyzji termicznej.
Oto praktyczne informacje dotyczące instalacji: trzeba dostosować napięcie i interfejs łączeniowy urządzenia, a następnie sprawdzić efektywność przekazywania ciepła podczas testów. Moduł jest kompaktowy, ale należy uwzględnić potrzebę dostępu do powietrza i obsługi urządzenia. Oczekuje się krótkiego czasu konfiguracji, by dostosować parametry do specyfiki używanego fotorezystu. Po ustawieniu proces pozostaje niezmieniony, zarówno w jednej, jak i w kolejnych sesjach produkcyjnych.