Mendapatkan lebih banyak haba ke permukaan wafer (dan kurangkan haba yang sampai ke dinding peti vakum)
Ketika kita memanaskan wafer dalam keadaan vakum, kita sebenarnya sedang berjuang melawan hukum fizik. Memandangkan tiada udara di sekeliling, kita tidak boleh bergantung pada proses konveksi. Kita terpaksa menggunakan cara radiasi untuk memanaskan wafer tersebut.
Masalahnya ialah setiap watt tenaga yang tidak sampai ke wafer merupakan tenaga yang dibazirkan. Tenaga tersebut akan memanaskan dinding peti vakum, lalu menambah beban pada sistem penyejukan. Ini merupakan pembaziran tenaga dan juga menyebabkan masalah kepada peralatan tersebut.
Mengapa kita gunakan emas
Lampu kuarsa biasa akan memancarkan haba ke semua arah. Untuk mengelakkan pembaziran tenaga ini, kita menggunakan reflektor yang dilapisi emas. Emas sangat efektif dalam memantulkan gelombang inframerah kembali ke tempat asalnya. Dengan melapisi permukaan lampu dengan emas, kita dapat mengarahkan haba tersebut ke permukaan wafer. Hasilnya, kita dapat memperoleh kepadatan haba yang lebih tinggi tanpa perlu meningkatkan kuasa yang digunakan.
Perhatikan beban haba
Namun, ada satu masalah. Apabila kita fokuskan begitu banyak radiasi pada sasaran tertentu, filamen lampu perlu beroperasi pada suhu yang lebih tinggi untuk mengekalkan output yang stabil. Jika anda menggunakan lampu berkuasa tinggi, bekalan kuasa yang digunakan perlu sangat kuat. Kami pernah melihat sistem yang gagal berfungsi kerana bekalan kuasa yang tidak mencukupi. Pastikan kabel penghubung mampu menanggung beban tersebut, dan pastikan pengedap vakum tidak rosak akibat peningkatan suhu yang mendadak.
Keseimbangan antara kebaikan dan keburukan
Emas merupakan alat yang terbaik untuk tujuan ini, tetapi ia agak sensitif. Ia tidak tahan terhadap kotoran. Jika proses pemprosesan melibatkan gas atau wap kimia yang boleh merosakkan lapisan emas, maka reflektiviti emas akan berkurangan. Anda akan perasan bahawa haba tidak lagi sampai ke permukaan wafer secara sekata. Pastikan peti vakum sentiasa bersih. Jika lapisan emas tercemar, bukan sahaja kecekapan sistem akan menurun, malah risiko berlakunya titik panas pada permukaan wafer juga akan meningkat.
Pada akhirnya, kita membina pemanas ini untuk memastikan haba sampai tepat ke tempat yang diperlukan, iaitu pada permukaan silikon, bukan pada mesin itu sendiri.