Sur le plancher de fabrication, un recuit de photoresist n’est pas qu’une étape de température. C’est une tolérance. Une dérive de 2°C décalera le...

Sur le plancher lithographique, une dérive de 0,5°C dans le séchage du photoresist n’est pas une « petite erreur ». C’est une plaquette jetée, une...