Comment tirer le meilleur parti du chauffage des wafer
Lorsque l’on travaille avec des chariots utilisés dans les salles propres de production de semi-conducteurs, on ne cherche pas simplement à « chauffer les objets ». Il s’agit plutôt d’amener l’énergie exactement là où elle est nécessaire : directement sur la surface du wafer.
La plupart des gens utilisent des lampes en quartz standard, mais celles-ci émettent de la chaleur dans toutes les directions. Sans planification adéquate, la moitié de l’énergie dissipée se perd dans le châssis du chariot. C’est un gaspillage d’énergie, rien de plus.
C’est pourquoi nous utilisons des réflecteurs recouverts d’or.
Le pouvoir de l’or
L’or est incroyable pour les longueurs d’onde infrarouges : il reflète plus de 98 % de cette énergie. En ajoutant un fin film d’or sur la paroi du dispositif, nous empêchons ces photons de s’échapper et les dirigeons directement vers le wafer. Ainsi, la chaleur est concentrée sur la surface du wafer, ce qui signifie que vous n’avez pas besoin d’augmenter la puissance pour atteindre le résultat souhaité.
Vitesse vs. contrôle
L’avantage majeur ici est la vitesse : vous atteignez rapidement les températures souhaitées, ce qui réduit le temps nécessaire pour atteindre cet état. Mais il y a un inconvénient : comme l’énergie est très concentrée, les wafer chauffent très rapidement. Si vos régulateurs PID ne sont pas réglés correctement pour gérer ce type de flux, vous risquez de dépasser les températures désirées. Il est donc important de vérifier attentivement la calibrage des capteurs afin d’éviter de endommager les bords des wafer.
Fonctionnement optimal dans les salles propres
Nous savons que l’espace est limité dans les chariots de transport, alors nous veillons à ce que la taille du dispositif soit minimale. De plus, nous scellons bien la couche d’or, afin d’éviter tout écaillage ou toute poussière métallique, ce qui contribue à préserver la propreté de la salle propre. De plus, cela permet de réduire la consommation d’énergie. Lorsque vous connectez ces dispositifs au réseau électrique, vous remarquerez une baisse de la consommation en ampères, tandis que la température de surface reste exactement où elle doit être. C’est ainsi une façon simple de soulager la charge électrique de votre installation.