Dans l’usine de fabrication, on connaît bien les règles à suivre. Une chaleur trop faible, même d’un demi-degré, peut entraîner des variations importantes dans les dimensions des composants. Une chaleur excessive, quant à elle, ne détruit pas seulement de l’énergie, mais aussi le photorésistant. Ce dont on a besoin, c’est d’une chaleur fiable, qui reste constante d’une séance de traitement à l’autre, d’un outil à l’autre, et d’un lot à l’autre.
Nous avons conçu ces modules de Chauffage pour utiliser des ondes infrarouges à courte longueur d’onde. Cela permet une réponse rapide et un contrôle précis de la température. Ainsi, on obtient une uniformité de température sur toute la surface de chauffe, avec une marge d’erreur de ±0,1°C. De cette façon, chaque séance de traitement se déroule dans les limites prévues, sans aucune déviation.
Cette plateforme convient aux salles propres de classe 1–100. Elle est conçue pour ne produire aucune particule. Elle fonctionne 24/7, sans temps d’arrêt imprévu. La consommation d’énergie est réduite, car la chaleur est fournie sur demande, avec des pertes minimales en mode veille et sans temps d’attente avant le démarrage.
En lithographie, un chauffage régulier permet de maintenir une épaisseur constante du photorésistant, ce qui réduit les défauts à ses extrémités. Une température constante pendant le traitement permet également de respecter les spécifications, ce qui signifie moins de pièces défectueuses et moins de retraitement nécessaire.
La même plateforme peut également être utilisée pour nettoyer et sécher les wafer, sans introduire de contamination. On obtient ainsi des temps de cycle plus courts, un rendement plus élevé, et une consommation d’énergie par wafer diminuée – sans pour autant sacrifier la précision thermique.
Voici les détails pratiques : l’installation consiste à adapter la tension et l’interface de connexion de l’appareil, puis à vérifier le bon fonctionnement du système de chauffage pendant les tests de qualification. Le module est compact, mais il faut prévoir de l’espace pour la circulation de l’air et pour les interventions de maintenance.
On s’attend à un court temps de mise en service pour ajuster les paramètres en fonction du type de photorésistant utilisé. Une fois les paramètres ajustés, le processus reste stable, d’une séance de traitement à l’autre.