گرمکن مادون قرمز سازگار با خلأ
رساندن گرمای بیشتری به ویفرها (و کاهش گرمای وارد شده به دیوارههای محفظه)
وقتی که ویفرها را در فضای خلأ گرم میکنید، در واقع در حال مبارزه با قوانین...
گرمکن مادون قرمز محفظه واکوئوم
در خط تولید، مراحل پختن، عاملی کلیدی برای تعیین بازدهی فرآیند هستند. چه پختن به صورت نرم و چه سخت، تغییرات دمایی حتی ۵ درجه سانتیگراد نیز میتواند...