V prostorách určených k výrobě čipů víte, jak to chodí. I půl stupně odchylky teploty může ovlivnit kritické rozměry čipu o několik nanometrů – a to znamená ztrátu kvalitního materiálu. Senzory teploty na desce čipu nejsou jen dodatečné prvky – určují totiž tepelné parametry potřebné při litografii, zpracování fotorezistu a čištění desek čipů. Pokud není teplota stabilní, klesne úspěšnost výroby.
Tyto senzory jsme vyvinuli tak, aby udržovaly tepelnou jednotnost na úrovni ±0,1 °C, s rychlou reakcí a opakovatelnými výsledky. Senzor je umístěn v obalu vhodném pro použití v čistých prostorách, který splňuje požadavky tříd 1–100. Materiály byly vybrány tak, aby eliminovaly uvolňování plynů a zabránily vzniku částic. Výstup senzoru zůstává stabilní 24/7, což pomáhá eliminovat neplánované přerušení výroby – senzor totiž okamžitě signalizuje jakékoli odchylky. Kalibrace senzoru vydrží i po tisících cyklech.
Při zpracování fotorezistu určuje „měkké sušení“ profil rozpouštědel, zatímco „tvrdé sušení“ ustálí obraz na desce čipu. Přesná kontrola teploty zúžuje rozsah teploty potřebný k sušení, snižuje potřebu oprav a zlepšuje rovnoměrnost šířky řádků na desce čipu. Díky tomu je dosaženo opakovatelných výsledků, méně problémů s částicemi a nižší spotřeba energie – protože regulační obvod neustále sleduje odchylky teploty. Při čištění a sušení desek čipů tato přesnost stabilizuje povrchovou energii, čímž se zlepšuje konzistence sušení a snižují se defekty.
Tolerance při instalaci je velmi nízká. Senzor musí být umístěn v tepelném středu horké oblasti a musí odpovídat konektoru a rozhraní zařízení. Očekávejte krátký proces kalibrace, během kterého se upraví parametry PID a ověří se rovnoměrnost teploty na celé ploše desky čipu. Ve prostředích s vysokou vlhkostí je potřeba kontrolovat těsnost konektoru a plánovat pravidelnou kalibraci, aby byla zachována hodnota ±0,1 °C.