V provozu výroby znáte pravidla – i malá změna teploty o půl stupně může ovlivnit kritické rozměry. Příliš vysoká teplota nejen spotřebovává energii, ale také ničí fotorezistent. Potřebujete tedy teplo, kterému můžete věřit – v každé směně, u každého nástroje, v každé várce.
Vytvořili jsme vyhřívací moduly na bázi krátkovlnného infračerveného záření. Rychlá reakce, přesná kontrola teploty. Díky tomu je uniformita teploty na povrchu polovodičových desek na úrovni ±0,1 °C, takže každé zahřívání probíhá v mezích stanovených hodnot, bez jakýchkoliv odchylek.
Tato platforma se hodí do čistých prostor třídy 1–100 a je navržena tak, aby nevytvářela žádné částice. Funguje 24/7 bez neplanovaných přestávek. Spotřeba energie je nižší, protože teplo je dodáváno na požádání, s minimálními ztrátami a bez doby čekání.
V litografii udržuje konstantní teplota stabilitu tloušťky fotorezistentu a snižuje riziko vzniku vad. Opakovatelná teplota při silném zahřívání zajišťuje, že parametry zůstávají v požadovaných mezích, což znamená méně odpadu a potřeby opakované práce.
Stejná platforma umožňuje čištění a sušení polovodičových desek, aniž by došlo ke kontaminaci – počet částic tak zůstává pod kontrolou. Díky tomu dosahujete kratších cyklů, vyšší míry výtěžnosti a nižší spotřeby energie na jeden zpracovaný kus – bez obětování přesnosti teploty kvůli větší rychlosti.
Zde jsou praktické detaily: instalace znamená sladění napětí a konektorů nástroje, poté je potřeba ověřit tepelné spojení s držákem během kalibrace. Modul je kompaktní, ale je potřeba zajistit prostor pro proudění vzduchu a údržbu.
Očekávejte krátký proces kalibrace, abyste nastavili parametry podle vašeho typu fotorezistentu. Jakmile je proces nastaven, zůstane stejný v každé směně.