ওয়েফারগুলোকে আরও বেশি তাপ দেওয়া হয়; আর দেয়ালগুলোতে কম তাপ যায়।
ভ্যাকুয়ামে ওয়েফারগুলোকে উত্তপ্ত করার সময় আপনাকে পদার্থবিজ্ঞানের নিয়মগুলোর বিরুদ্ধে লড়তে হয়। যেহেতু সেখানে বায়ু নেই, তাই আপনি কনভেকশন পদ্ধতির উপর নির্ভর করতে পারেন না। আপনাকে অবশ্যই রেডিয়েশন পদ্ধতি ব্যবহার করতে হয়।
সমস্যা হলো: ওয়েফারকে ছোঁয়ানো না যাওয়া প্রতিটি ওয়াট শক্তি অপচয় হয়ে যায়। এর ফলে চেম্বারের দেয়ালগুলো উত্তপ্ত হয়ে যায়; এতে কুলিং সিস্টেমের উপর আরও চাপ পড়ে। এটা শক্তির অপচয় এবং হার্ডওয়্যারের জন্য সমস্যা।
কেন আমরা সোনা ব্যবহার করি?
সাধারণ কোয়ার্টজ ল্যাম্পগুলো সর্বদিকে তাপ ছড়ায়। এই অপচয় রোধ করতে আমরা সোনার আবরণযুক্ত রিফ্লেক্টর ব্যবহার করি। সোনা ইনফ্রারেড তরঙ্গগুলোকে আবার সেখানেই ফিরিয়ে দেওয়ার ক্ষেত্রে অত্যন্ত কার্যকর।
চেম্বারটিকে সোনার আবরণ দিয়ে ঢেকে রাখলে, যে তাপ সাধারণত পিছনে চলে যায়, সেটাকে সামনের দিকে পাঠানো যায়। এর ফলে ওয়েফারের উপর সরাসরি তাপ পড়ে। ফলাফল? কম শক্তি ব্যবহার করেই অনেক বেশি তাপ পাওয়া যায়।
থার্মাল লোড নিয়ন্ত্রণ করুন
তবে একটি সমস্যা আছে। যখন এত বেশি রেডিয়েশন কোনো লক্ষ্যবস্তুর উপর পড়ে, তখন ল্যাম্পটির ফিলামেন্টকে আরও উচ্চ তাপমাত্রায় চালাতে হয়।
যদি আপনি দ্রুত তাপ পাওয়ার জন্য উচ্চ-ওয়াটেজের ল্যাম্প ব্যবহার করেন, তাহলে আপনার পাওয়ার সাপ্লাইটি অবশ্যই শক্তিশালী হতে হবে। আমরা দেখেছি যে কিছু সিস্টেম এই চাপ সামলাতে না পেরে কাজ করতে ব্যর্থ হয়েছে। নিশ্চিত হোন যে আপনার ওয়্যারিংগুলো এই চাপ সামলাতে পারছে, আর ভ্যাকুয়াম সিলগুলো স্থানীয় উচ্চ তাপমাত্রার কারণে ভেঙে যাবে না।
লাভ ও ক্ষতি
সোনা হলো এই কাজের জন্য সেরা উপাদান; কিন্তু এটা খুবই সংবেদনশীল। এটা দূষণ সহ্য করতে পারে না।
যদি আপনার প্রক্রিয়ায় গ্যাস বা রাসায়নিক বাষ্প থাকে, যা সোনার আবরণটিকে দূষিত বা ক্ষয় করে দেয়, তাহলে রিফ্লেক্টিভিটি কমে যায়। ফলে ওয়েফারে সমানভাবে তাপ পড়ে না।
চেম্বারটিকে পরিষ্কার রাখুন। যদি আবরণটি দূষিত হয়ে যায়, তাহলে শুধুমাত্র দক্ষতাই কমে যায় না—বরং ওয়েফারে অসমান তাপ পড়ে, যা কেউই চায় না।
শেষ পর্যন্ত, আমরা এই হিটারগুলো এমনভাবে তৈরি করি যাতে তাপটি ঠিক সেখানেই যায়—সিলিকনে, মেশিনে নয়।